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三星已经发运了数百万基于EUV的DDR4模块

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韩国电子巨头三星宣布,它已经通过了一个重要的生产里程碑。在昨天的新闻稿中,它表示“基于极紫外(EUV)技术的100万个10纳米(D1x)DDR4 DRAM模块已成功出货”。这些模块已经过三星合作伙伴的测试,只是高级PC、移动设备、企业服务器和数据中心产品的EUV流程节点的开始。

DRAM产品和技术执行副总裁Sung-bae Lee表示:“这一重大进展凸显了我们将如何通过及时为高端内存市场开发高端工艺技术和下一代内存产品,继续为全球IT创新做出贡献。事实上,三星是第一家在EUV DRAM生产中采用EUV光刻技术的公司。它希望这意味着它可以克服整个行业面临的DRAM扩张挑战。

基于EUV的新内存生产流程的优势包括:减少多个图案中的重复步骤,提高图案精度,提供增强的性能和更高的产量。三星补充说,EUV半导体的开发时间也已经缩短。

有了以上所有优势,在成功的客户评估后,三星将在下一代DRAM中全面部署EUV是可以理解的。这意味着从第四代10nm级(D1a)或者高度先进的14nm级DRAM开始。展望不久的将来,这意味着EUV将在明年用于基于D1a的DDR5和LPDDR5的量产——将三星12英寸D1x晶圆的生产效率提高一倍。

为了扩大明年的DDR5/LPDDR5市场,三星将于今年下半年在韩国平泽启动第二条半导体生产线。

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